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单晶硅片
规格：3寸至4寸单晶硅N型轻掺硅片，3寸至4寸单晶硅N/P型重掺硅片

通过掺磷或掺硼，采用MCZ工艺，生产尺寸为3寸、4寸，电阻0 日本中文字幕在线，003-55Ω，cm，厚度200-350um等不同N型单晶硅片或P型单晶硅片，并可根据客户要求生产定位边单晶硅片，倒角单晶硅片，N型单晶硅片，P型单晶硅片等，电阻率和厚度根据客户要求生产。。

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单晶硅片参数配置表
3寸单晶硅N型轻掺硅片参数配置表
4寸单晶硅N型轻掺硅片参数配置表
3寸单晶硅重掺硅片参数配置表
4寸单晶硅重掺硅片参数配置表

3寸单晶硅N型轻掺硅片

3-inch mono crystal silicon N-type light doped wafer

电阻率Ω·CM	厚度μm		晶向	寿命μs	外径mm	掺杂剂	形态				电阻率径向不均匀性
电阻率Ω·CM	厚度μm		晶向	寿命μs	外径mm	掺杂剂	线切片	研磨片	倒角片	定位片	电阻率径向不均匀性
5-10	200-350		<111>	＞100	76.2±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
10-15	200-350		<111>	＞100	76.2±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
15-20	200-350		<111>	＞100	76.2±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
20-25	200-350		<111>	＞100	76.2±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
25-30	200-350		<111>	＞100	76.2±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
30-35	200-350		<111>	＞100	76.2±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
35-40	200-350		<111>	＞100	76.2±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
40-45	200-350		<111>	＞100	76.2±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
45-50	200-350		<111>	＞100	76.2±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
50-55	200-350		<111>	＞100	76.2±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%

4寸单晶硅N型轻掺硅片

4-inch mono crystal silicon N-type light doped wafer

电阻率Ω·CM	厚度μm		晶向	寿命μs	外径mm	掺杂剂	形态				电阻率径向不均匀性
电阻率Ω·CM	厚度μm		晶向	寿命μs	外径mm	掺杂剂	线切片	研磨片	倒角片	定位片	电阻率径向不均匀性
5-10	200-350		<111>	＞100	101.6±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
10-15	200-350		<111>	＞100	101.6±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
15-20	200-350		<111>	＞100	101.6±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
20-25	200-350		<111>	＞100	101.6±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
25-30	200-350		<111>	＞100	101.6±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
30-35	200-350		<111>	＞100	101.6±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
35-40	200-350		<111>	＞100	101.6±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
40-45	200-350		<111>	＞100	101.6±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
45-50	200-350		<111>	＞100	101.6±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%
50-55	200-350		<111>	＞100	101.6±0.3	磷	√	√	√	√	≤20%

"精品国产99久久久久久" 3寸单晶硅重掺硅片

3-inch mono crystal silicon heavy doped wafer

电阻率Ω·CM		厚度μm	晶向	型号	外径mm	掺杂剂	形态				电阻率径向不均匀性
电阻率Ω·CM		厚度μm	晶向	型号	外径mm	掺杂剂	线切片	研磨片	倒角片	定位片	电阻率径向不均匀性
0.003-0.005		200-350	<111>	N/P	76.2±0.3	磷/硼	/	√	√	√	/
0.005-0.008		200-350	<111>	N/P	76.2±0.3	磷/硼	/	√	√	√	/
0.02-0.03		200-350	<111>	N/P	76.2±0.3	磷/硼	/	√	√	√	/

4寸单晶硅重掺硅片

4 inch monocrystal silicon heavy doped wafer

电阻率Ω·CM		厚度μm	晶向	型号	外径mm	掺杂剂	形态				电阻率径向不均匀性
电阻率Ω·CM		厚度μm	晶向	型号	外径mm	掺杂剂	线切片	研磨片	倒角片	定位片	电阻率径向不均匀性
0.003-0.005		200-350	<111>	N/P	101.6±0.3	磷/硼	/	√	√	√	/
0.005-0.008		200-350	<111>	N/P	101.6±0.3	磷/硼	/	√	√	√	/
0.02-0.03		200-350	<111>	N/P	101.6±0.3	磷/硼	/	√	√	√	/

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